性能指标和基本配置

名称

1200℃迷你三温区管式炉

炉体结构

● 采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使表面温度低于70℃
● 高纯氧化铝纤维作为炉膛材料（表面涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率延长炉膛使用寿命）
● 可选购石英管堵及石英坩埚，可增加炉管内洁净度及真空度
● 设有开门断电功能,提高实验安全性

基本参数

● 热偶：K型热偶 
● 建议升温速率：≤10℃/min
● 温度：1100℃ （1200℃＜1h）
● 电源：AC220，50Hz
● 最大功率:5KW

高纯石英管尺寸

● 以下高纯石英管尺寸可选：
Φ25 Φ50 Φ60 Φ80 Φ100 Φ130

加热区

加热区长度：600mm (三温区：150mm+300mm+150mm)

加热元件

掺钼铁铬铝(表面涂有氧化锆涂层，可以极大程度延长使用寿命）

密封法兰

● 一对SS 304真空法兰与双高温硅O形环包括在内
● 两个针阀已分别安装在两个法兰上
● 一个真空压力表安装在一侧法兰
● 可选：您可以选购kf25真空口法兰
● 可选：您可以订购法兰支架
● 可选：铰链法兰

温控系统

● 包含一款YD518P型温度控制器
● PID自动控温系统
● 智能化30段可编程控制
● 控温精度：±1℃
● 三个温区分别有三个独立的温控系统控制
● 默认DB9 PC通信连接端口
● 可选购电脑温度控制软件(用于YD518P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据

温度校准（可选）

● 定期对管式炉进行温度校准，可保持温度的准确性和均匀性。您可以在我公司选购一个简单的校准工具包，辅助您完成这项工作，完整的校准套件包括
● 48”L（1/4”OD）K型热电偶校准
● 一Omega温度校准器
● 热电偶补偿线
● 你可以考虑分子泵，真空度可达10-5Torr

外形尺寸

1050 L x 440W x 700 H mm

净重

约70Kg

质保期

● 一年保修，终身技术支持。
● 特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

真空&法兰

● 通过机械泵可达到50mTorr
● 通过分子泵泵可达到10E-5 Torr
● 可选购一个冷真空阱，以避免真空泵造成污染

可选部分

● 为了方便搭建完整的CVD系统，您可以在我公司选购混气系统、液相气体发生气和石英支架         

使用注意事项

● 炉管内气压不可高于0.02MPa
● 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
● 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当
● 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
● 石英管的长时间使用温度＜1100℃
● 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）

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