性能指标和基本配置

设备名称

1200℃开启式管式炉系列--OTF-1200X-25-100；OTF-1200X-50-100；OTF-1200X-60-100；OTF-1200X-80-100；OTF-1200X-100-100

设备名称

● 采用ABB电器元件
● 为保证使用安全，该电炉为开门断电设计
● 采用双层壳体结构并带有风冷系统
● 炉膛材料采用高纯氧化铝纤维，能最大程度减少能量损失
● 可以作为模块，DIY ALD CVD PVD 蒸发炉 回转炉等（具体请致电）
● 采用高纯氧化铝作为炉膛材料，炉膛表面涂有高温氧化铝涂层可以提高加热效率和炉膛使用寿命

型号

OTF-1200X-50

OTF-1200X-60

OTF-1200X-80

OTF-1200X-100

炉管规格

外径: 50 ×长: 1000 mm

外径: 60 ×长: 1000 mm

外径: 80 ×长: 1000 mm

外径: 100 × 长: 1000 mm

主要参数

● 最高温度: 1200℃（≤30min） 工作温度: 1100℃
● 推荐升温速率:≤10℃/min
● 加热区：400 mm
● 热偶：K型热偶 加热元件：掺钼铁铬铝合金
● 电压：220V, 额定功率：3KW

炉体结构＆温控

● 配有一对不锈钢密封法兰，采用硅胶密封圈密封
● 石英管口径可选：Φ50 x 1000mm 或 Φ60 x 1000mm 或 Φ80 x 1000mm 或 Φ100 x 1000mm
● 真空度：10-2torr (采用机械泵)
● 安装有一机械压力表，测量范围为-0.1～0.15MP
● 采用PID方式调节温度，可设置30段升降温程序
● 带有超温和断偶保护

真空度

● 机械泵：10^-2 torr
● 分子泵：10^-5 torr

温控仪表（可选）

● 关闭时外形尺寸：1000 L x 300 W x 400 H mm
● 开启时外形尺寸：1000 L x 300 W x 550 H mm

重量

净重：40kg