性能指标和基本配置 |
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炉体结构 |
● 采用双层壳体风冷系统,工作时使得壳体表面温度<60°C。 |
石英管尺寸 |
● 采用高纯度石英管 |
加热区 |
● 总加热区长度: 900 mm (36") |
工作温度 |
● 最高工作温度 1150°C |
温度控制 |
● 配备一块触摸屏控制温度 |
真空泵系统 |
● 在炉子下方配备了一个数子分子泵系统 |
真空系统及法兰 |
● 配备一对水冷密封法兰(铰链法兰) |
可选 |
● 可以另配混气系统用于CVD实验 |
额定电压 |
● 单相, 220V AC, 50/60 Hz |
最大功率 |
12KW (需50A的空气开关 ) |
产品尺寸 |
● L 1700×W 750 × H1800mm |
净重 |
250Kg |
质保期 |
一年质保期,终身维护(炉管,密封圈,加热元件易耗件除外) |
使用注意事项 |
● 炉管内气压不可高于0.02MPa |
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