性能指标与基本配置

名称

1100℃三温区大口径管式炉GSL-1100X-152-130；GSL-1100X-216-130；GSL-1100X-279-130

产品提示

1、大体积设备提示                2、多种配件可选提示

设备型号

GSL-1100X-152-130

GSL-1100X-216-130

GSL-1100X-279-130

高纯石英管尺寸

152 OD x 143 ID x 1300mm L

216 OD x 206 ID x 1300mm L

279 OD x 269 ID x 1300mm L

石英舟（可选）

最大可兼容4”直径基片

最大可兼容6”直径基片

最大可兼容8”直径基片

炉体结构

● 采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使表面温度低于70℃

● 设备中配有2个氧化铝管堵，设备使用时必须把管堵塞入到炉管两端（保证恒温区和密封圈的密封性）

● 高纯氧化铝纤维作为炉膛材料（表面涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率延长炉膛使用寿命）

● 该炉可作为退火或扩散炉，最大可用于8”晶片放在对应石英舟中

基本参数

● 热偶：K型热偶

● 建议升温速率：≤10℃/min

● 温度：1000℃ （1100℃＜1h）

● 电源：AC220，50Hz

● 最大功率:8KW

加热区

加热区长度：900mm (三温区：300mm+300mm+300mm)

加热元件

掺钼铁铬铝(表面涂有氧化锆涂层，可以极大程度延长使用寿命）

密封法兰

● 采用铰链式法兰和O形密封圈加上机械泵可使真空度达到10-2Torr（参考值，详情请点击）

● 可选购一套温度测试装置（铠装热偶、补偿导线和温度仪表），用于测试炉管内部的温度

● 左侧水冷法兰：真空压力表、不锈钢针形阀和1/4”宝塔嘴接头

● 右侧水冷法兰：kf40真空接口，方便连接到kf40适用的波纹管、泵和kf40挡板阀。（如果您的泵是kf25接口，你需要一个kf40-kf25转接头）

温控系统

● 包含一款YD518P型温度控制器

● PID自动控温系统

● 智能化30段可编程控制

● 控温精度：±1℃

● 两个温区分别有三个独立的温控系统控制

● 默认DB9 PC通信连接端口

● 可选购电脑温度控制软件(用于YD518P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据

温度校准（可选）

● 定期对管式炉进行温度校准，可保持温度的准确性和均匀性。您可以在我公司选购一个简单的校准工具包，辅助您完成这项工作，完整的校准套件包括

● 48”L（1/4”OD）K型热电偶校准

● 一Omega温度校准器

● 热电偶补偿线

● 你可以考虑分子泵，真空度可达10-5Torr

外形尺寸

1880 L x 700W x 930 H mm

净重

约200 kg

质保期

● 一年保修，终身技术支持。

● 特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

● 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

真空系统

● 多种真空系统可选

● 可选购一个冷真空阱，以避免真空泵造成污染

使用注意事项

● 炉管内气压不可高于0.02MPa

● 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

● 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当

● 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

● 石英管的长时间使用温度＜1100℃

● 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）